Silicon Valley im Wiener Prater

ForscherInnen am Atominstitut der Technischen Universität (TU) Wien freuen sich über die Akkreditierung ihres in Österreich einzigartigen Röntgenlabors. Mithilfe einer zerstörungsfreien Analysemethode werden hier Siliziumträgerplatten (,,Wafer") unter Reinraumbedingungen untersucht. Qualitätsmanager Peter Kregsamer und Laborleiterin Christina Streli sind stolz auf ihr akkreditiertes Labor. (C) TU Wien Wien (TU). Im frisch akkreditieren Röntgenlabor des Atominstituts werden mit TXRF (Total-Reflection X-ray Fluorescence Analysis, Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse) unter Verwendung intensiver Röntgenstrahlung Oberflächen von "Silizum Wafern" auf anorganische Verunreinigungen durch Elemente von Kalium (K) bis Blei (Pb) untersucht. Die Untersuchungsobjekte (maximale Größe 200 mm Durchmesser) werden von einem Robotsystem vollautomatisch in das Spektrometer eingebracht, bestrahlt und die dabei entstehende, charakteristische Strahlung der Elemente gemessen. Es handelt sich um eine in Österreich einzigartige Methode, die eine extrem hohe Nachweisempfindlichkeit im Ultraspurenbereich von bis zu 10¹⁰ Atomen pro cm2 erlaubt.