ESG-Nano-Preis für Markus Leitgeb

Für eine Technik zur Herstellung von porösem Siliziumcarbid wurde der TU-Elektrotechniker Markus Leitgeb ausgezeichnet. Eine neue Halbleiter-Bearbeitungstechnik entwickelte Markus Leitgeb gemeinsam mit anderen Mitgliedern der Forschungsgruppe von Prof. Ulrich Schmid am Institut für Sensorund Aktuatorsysteme der TU Wien (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik). Dafür wurde Markus Leitgeb nun mit dem ESG-Nano-Preis der Erwin Schrödinger Gesellschaft für Nanowissenschaften ausgezeichnet. Nano-Schwämme - Sie sehen aus wie ein Schwamm im Nano-Format: Extrem feine poröse Strukturen mit winzigen Löchern kann man heute aus Halbleitern herstellen. Das bietet neue Möglichkeiten, winzige Sensoren zu bauen oder ungewöhnliche optische und elektronische Bauteile zu konstruieren. Schon bisher gab es dazu Experimente mit porösen Strukturen aus Silizium. An der TU Wien gelang es, ein Verfahren für die kontrollierte Herstellung von porösem Siliziumcarbid zu entwickeln.